中国企業が初の国産DUV露光装置をテスト、米国の輸出規制を突破する可能性―香港メディア

21日、香港メディア・香港01は、中国企業が国産の深紫外線(DUV)露光装置開発を進めていることを報じた。写真はSMIC。

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